4BTH5H7l8PN yrd.huanqiu.comarticle北京华卓精科科技股份有限公司/e3pu6i31u第十三届中国国际纳米技术产业博览会展位号:T38北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日,主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件,主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线,并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。1674889300555环球网版权作品,未经书面授权,严禁转载或镜像,违者将被追究法律责任。责编:岳芳青环球网167488930055511[]//img.huanqiucdn.cn/dp/api/files/imageDir/342aeba6e208b5e17e5decaef1838cb5u1.png{"email":"libing@huanqiu.com","name":"李冰"}
第十三届中国国际纳米技术产业博览会展位号:T38北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日,主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件,主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线,并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。